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신공정,신소재 연구&개발용 플라즈마 전문 장비 및 계측기
 
작성자: 플라즈마트 작성일: 2006-11-01 조회수: 4321
안녕하십니까?
결례가 되었다면 죄송합니다
연구하시는데 조금이라도 도움을 드리고 싶어 게시판에 글을 남깁니다.

㈜플라즈마트는 반도체, 디스플레이, 바이오, 등을 비롯하여 나노(NT) 분야에 이르기까지 다양한 분야로 10 년 이상 세계의 기술을 함께 해 온 플라즈마 전문가들로 이루어진 플라즈마 전문기업입니다.
Total solution system for plasma research!
1. MINIPLASMA-station
- 다양한 연구를 통한 많은 논문뿐만 아니라 신공정 및 신소재 개발
(Surface treatment, 친수성, 소수성, 표면 개질, 본딩 및 몰딩시 접착력 강화,
Nitriding, Carbon nano-tube, DLC, Plasma polymerization, 테프론 표면처리,
플라스틱 표면처리, 바이오 관련 분말 코팅, 세라믹 표면처리뿐만 아니라 섬유,
고분자, 유기물, 태양전지, 등에도 응용이 가능)
- Application: ICP-CVD, PECVD(CCP type), PEALD, ICP&RIE, RIE,
Asher, Surface Treatment System
- Low Price, Multi-Functions, Easy Operation, High Performance
- Plasma Source, Plasma 정밀 계측, Plasma Consulting의 양산 기술
뿐만 아니라 자체 연구까지 적용하여 제작된 연구용 전문 장비
- 다양한 Plasma Source 적용
- Sample Test 가능
- 대학교, 국립연구소, 등에 납품

2. Plasma Source (ICP Type; 유도결합형 플라즈마)
- 국내 업체 중 국내뿐만 아니라 해외까지 포함하여 많은 특허 등록과 출원을
하고 있음
- 반도체 및 LCD의 플라즈마 관련 양산 장비에 부품, 식각, 증착, 세정
공정에 적용되고 있음
- 고밀도 플라즈마(High density plasma), 고균일성
- 소자 업체, 양산 장비 제조 업체, 일반 진공 장비 제조 업체, 등에 납품

3. Langmuir Probe Plasma Diagnostic System (SLP2000 or DLP2000)
- 국내 유일한 국산화 플라즈마 정밀 계측 장비: SLP2000
- 세계 유일한 국산화 플라즈마 정밀 계측 장비: DLP2000 (KT Mark 인증)
- 플라즈마 관련 장비의 Chamber내에서 플라즈마 밀도, 전자 밀도,
이온 밀도, 전자 온도, 부유전위, 전자에너지 분포 함수 등 측정 가능
_ 플라즈마 관련 장비인 ICP-CVD, PECVD(CCP type), ICP&RIE, RIE,
Asher, Surface Treatment System, RF / DC / Pulse Sputtering System,
등에 적용
- 삼성종합기술원, LG생산기술원, 표준과학연구원, RIST, Lam, 주성엔지니어링,
ADP엔지니어링, KAIST, 서울대, 한양대, 성균관대, 외 다수 납품

4. Plasma Monitoring System (Non-invasive Ion Energy Analyzer)
- Ion energy distribution measurement
- Plasma process observation possible
- 플라즈마를 사용하는 공정에서 24시간 플라즈마 감시 기능
5. RF Matcher (FathFindr)
- 1, 2, 3, 5, 7, 10 KW, 등
- 13.56MHz, 2MHz, 27.12 MHz, 등
- 양산용 적용

더 많은 정보를 원하시면 언제든지 연락만 주세요!
끝까지 읽어 주셨어 감사합니다.
업무상 방해가 되었다면 정말 죄송합니다.


강 신석

PLASMART, Inc.

TEL : +82-42-863-2546/8 (ext. 101)
FAX : +82-42-863-2547
E-mail : sskang@plasmart.com
H/P: http://www.plasmart.com

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